Gas de alta pureza de trifluoruro de nitrógeno (NF3)
Información básica
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
¿Qué es este material?
El trifluoruro de nitrógeno (NF3) es un gas incoloro e inodoro a temperatura ambiente y presión atmosférica. Se puede licuar bajo presión moderada. NF3 es estable en condiciones normales y no se descompone fácilmente. Sin embargo, puede descomponerse cuando se expone a altas temperaturas o en presencia de ciertos catalizadores. El NF3 tiene un alto potencial de calentamiento global (GWP) cuando se libera a la atmósfera.
¿Dónde utilizar este material?
Agente de limpieza en la industria electrónica: el NF3 se usa ampliamente como agente de limpieza para eliminar contaminantes residuales, como óxidos, de las superficies de semiconductores, paneles de pantalla de plasma (PDP) y otros componentes electrónicos. Puede limpiar eficazmente estas superficies sin dañarlas.
Gas de grabado en la fabricación de semiconductores: el NF3 se utiliza como gas de grabado en el proceso de fabricación de semiconductores. Es particularmente eficaz para grabar dióxido de silicio (SiO2) y nitruro de silicio (Si3N4), que son materiales comunes utilizados en la fabricación de circuitos integrados.
Producción de compuestos de flúor de alta pureza: NF3 es una valiosa fuente de flúor para la producción de diversos compuestos que contienen flúor. Se utiliza como precursor en la producción de fluoropolímeros, fluorocarbonos y productos químicos especiales.
Generación de plasma en la fabricación de pantallas planas: el NF3 se utiliza junto con otros gases para crear plasma en la producción de pantallas planas, como pantallas de cristal líquido (LCD) y PDP. El plasma es esencial en los procesos de deposición y grabado durante la fabricación de paneles.
Tenga en cuenta que las aplicaciones y regulaciones específicas para el uso de este material/producto pueden variar según el país, la industria y el propósito. Siga siempre las pautas de seguridad y consulte a un experto antes de utilizar este material/producto en cualquier aplicación.
